Травлення буферним оксидом (BOE), також відоме як буферний HF або BHF, це засіб для мокрого травлення, який використовується в мікрофабрикатах. Його основне використання — травлення тонких плівок діоксиду кремнію (SiO2) або нітриду кремнію (Si3N4). Це суміш буферного агента, такого як фторид амонію (NH4F), і плавикової кислоти (HF).
близько 70 Å/хв. Швидкість травлення буде близько 70 Å / хв. Наприклад, типовий 50 Å "природний" оксид на кремнії можна видалити за допомогою 45-50-секундного світлового травлення. Зауважте, що як BHF, так і розбавлений HF слід обробляти та використовувати лише в поліетиленових або тефлонових контейнерах. Будь-який скляний матеріал також буде протравлений.
Плавикова кислота (HF) SiO2 злегка розчинити в гарячій воді. Він розчинний у плавикова кислота (HF).
Силіконове мокре травлення є важливий процес, який використовується в напівпровідниковій промисловості для формування різноманітних структур і малюнків на кремнієвих підкладках. Ізотропна та анізотропна методи мокрого травлення є двома типами, які часто використовуються в промисловості, кожен з яких має свої переваги та обмеження.
Буферизований оксид травлення (BOE) або просто плавикова кислота використовується для травлення діоксиду кремнію на кремнієвих пластинах. Буферизований оксид травлення – це суміш фтористоводневої кислоти та фториду амонію. Трави, що містять фторид амонію, дають кремнієві поверхні з атомарно більш гладкою поверхнею, ніж HF.